7N tellurni tozalash jarayoni "zonalarni tozalash" va yo'nalishli kristallanish texnologiyalarini birlashtiradi. Jarayonning asosiy tafsilotlari va parametrlari quyida keltirilgan:
1. Hududni qayta ishlash jarayoni
Uskunalar dizayni
Ko'p qatlamli halqali zonali erituvchi qayiqlar: Diametri 300–500 mm, balandligi 50–80 mm, yuqori toza kvarts yoki grafitdan yasalgan.
Isitish tizimi: ±0,5 °C haroratni nazorat qilish aniqligi va maksimal ish harorati 850 °C bo'lgan yarim doira rezistiv batareyalar.
Asosiy parametrlar
Vakuum: Oksidlanish va ifloslanishni oldini olish uchun ≤1×10⁻³ Pa.
Zonaning harakat tezligi: 2–5 mm/soat (qo‘zg‘alish mili orqali bir tomonlama aylanish).
Harorat gradienti: erigan zonaning old qismida 725±5°C, orqa tomonida <500°C gacha sovutish.
O'tishlar: 10-15 tsikl; ajratish koeffitsienti <0,1 bo'lgan aralashmalar uchun olib tashlash samaradorligi >99,9% (masalan, Cu, Pb).
2. Yo'nalishli kristallanish jarayoni
Eritma tayyorlash
Materiallar: zonali tozalash orqali tozalangan 5N tellur.
Erish shartlari: Yuqori chastotali induksion isitish yordamida 500–520°C da inert Ar gazida (≥99,999% tozalik) eritiladi.
Eritma himoyasi: uchuvchanlikni bostirish uchun yuqori tozalikdagi grafit qoplamasi; eritilgan hovuz chuqurligi 80-120 mm da saqlanadi.
Kristallanishni nazorat qilish
O‘sish tezligi: 1–3 mm/soat, vertikal harorat gradienti 30–50°C/sm.
Sovutish tizimi: pastki majburiy sovutish uchun suv bilan sovutilgan mis asos; yuqori qismida radiatsion sovutish.
Nopoklikni ajratish: Fe, Ni va boshqa aralashmalar 3-5 qayta eritish tsiklidan keyin don chegaralarida boyitiladi va konsentratsiyani ppb darajasiga kamaytiradi.
3. Sifat nazorati ko'rsatkichlari
Parametr standart qiymat ma'lumotnomasi
Yakuniy tozaligi ≥99,99999% (7N)
Jami metall aralashmalari ≤0,1 ppm
Kislorod miqdori ≤5 ppm
Kristal orientatsiyasining og'ishi ≤2°
Qarshilik (300 K) 0,1–0,3 Ō·sm
Jarayonning afzalliklari
Scalability: Ko'p qatlamli halqali zonali erituvchi qayiqlar an'anaviy dizaynlarga nisbatan partiya hajmini 3-5 marta oshiradi.
Samaradorlik: Aniq vakuum va issiqlik nazorati yuqori iflosliklarni olib tashlash tezligini ta'minlaydi.
Kristal sifati: o‘ta sekin o‘sish sur’atlari (<3 mm/soat) dislokatsiyaning past zichligi va monokristal yaxlitligini ta’minlaydi.
Ushbu tozalangan 7N tellur infraqizil detektorlar, CdTe yupqa plyonkali quyosh batareyalari va yarimo'tkazgichli substratlar kabi ilg'or ilovalar uchun juda muhimdir.
Ma'lumotnomalar:
tellurni tozalash bo'yicha o'zaro ko'rib chiqilgan tadqiqotlarning eksperimental ma'lumotlarini bildiradi.
Xabar vaqti: 24-mart-2025-yil