Раванди тозакунии теллурии 7N технологияҳои тозакунии минтақа ва кристаллизатсияи самтро муттаҳид мекунад. Тафсилот ва параметрҳои асосии раванд дар зер оварда шудаанд:
1. Раванди коркарди минтақа
Тарҳрезии таҷҳизот
Киштиҳои гудохтани минтақаҳои ҳалқаи бисёрқабата: Диаметри 300–500 мм, баландии 50–80 мм, ки аз кварц ё графити тозаи баланд сохта шудаанд.
Системаи гармидиҳӣ: Каттаҳои муқовимати нимдонавӣ бо дақиқии назорати ҳарорат аз ± 0,5 ° C ва ҳарорати максималии корӣ 850 ° C.
Параметрҳои асосӣ
Вакуум: ≤1×10⁻³ Па барои пешгирии оксидшавӣ ва олудашавӣ.
Суръати ҳаракати минтақа: 2–5 мм/соат ( гардиши яктарафа тавассути чоҳи гардонанда).
Градиенти ҳарорат: 725±5°C дар пеши минтақаи гудохта, хунук шудан то <500°C дар канори паси.
Мегузарад: 10-15 давра; самаранокии тозакунӣ >99,9% барои ифлосиҳо бо коэффисиентҳои ҷудошавӣ <0,1 (масалан, Cu, Pb).
2. Раванди кристаллизатсияи самт
Тайёр кардани об
Мавод: 5N теллур, ки тавассути рефинасияи минтақавӣ тоза карда шудааст.
Шароити обшавӣ: Дар зери гази инертии Ar (тозагии ≥99,999%) дар 500–520°С бо истифода аз гармкунии индуксионии басомади баланд гудохта мешавад.
Муҳофизати гудохта: Сарпӯши графити тозаи баланд барои рафъи ноустуворӣ; чуқурии ҳавзи гудохта дар 80-120 мм нигоҳ дошта мешавад.
Назорати кристаллизатсия
Суръати афзоиш: 1–3 мм/соат бо градиенти амудии ҳарорат 30–50°C/см.
Системаи хунуккунӣ: Пойгоҳи миси бо об сардшаванда барои хунуккунии маҷбурии поён; сардшавии радиатсионӣ дар боло.
Ҷудошавии наҷосат: Fe, Ni ва дигар ифлосиҳо дар ҳудуди ғаллаҳо пас аз 3-5 давраи обшавии дубора бой мешаванд ва консентратсияи онро то сатҳи ppb коҳиш медиҳанд.
3. Метрикҳои назорати сифат
Параметри стандартии арзиши истинод
тозагии ниҳоӣ ≥99,99999% (7N)
Ҷамъи ифлосиҳои металлӣ ≤0,1 ppm
Миқдори оксиген ≤5 ppm
Инҳирофшавии самти кристалл ≤2°
Муқовимат (300 К) 0,1–0,3 Ом·см
Афзалиятҳои раванд
Миқёспазирӣ: Киштиҳои обшавии бисёрқабатаи минтақаи ҳалқавӣ нисбат ба тарҳҳои муқаррарӣ иқтидори партияро 3-5 маротиба зиёд мекунанд.
Самаранокӣ: Назорати дақиқи вакуум ва гармӣ имкон медиҳад, ки сатҳи баланди тозакунии ифлосиҳо.
Сифати кристалл: Суръати афзоиши ултра суст (<3 мм/соат) зичии пасти дислокатсия ва тамомияти яккристаллро таъмин мекунад.
Ин теллури тозашудаи 7N барои барномаҳои пешрафта, аз ҷумла детекторҳои инфрасурх, ҳуҷайраҳои офтобии тунуки CdTe ва субстратҳои нимноқил муҳим аст.
Иқтибосҳо:
маълумотҳои таҷрибавӣ аз таҳқиқоти ҳамсолон оид ба тозакунии теллурро ифода мекунанд.
Вақти фиристодан: 24 март-2025