7N டெல்லூரியம் படிக வளர்ச்சி மற்றும் சுத்திகரிப்பு செயல்முறை விவரங்கள் தொழில்நுட்ப அளவுருக்களுடன்

7N டெல்லூரியம் சுத்திகரிப்பு செயல்முறை மண்டல சுத்திகரிப்பு மற்றும் திசை படிகமயமாக்கல் தொழில்நுட்பங்களை ஒருங்கிணைக்கிறது. முக்கிய செயல்முறை விவரங்கள் மற்றும் அளவுருக்கள் கீழே கோடிட்டுக் காட்டப்பட்டுள்ளன:

‌1. மண்டல சுத்திகரிப்பு செயல்முறை‌
உபகரண வடிவமைப்பு

‌பல அடுக்கு வளைய மண்டல உருகும் படகுகள்: விட்டம் 300–500 மிமீ, உயரம் 50–80 மிமீ, அதிக தூய்மை கொண்ட குவார்ட்ஸ் அல்லது கிராஃபைட்டால் ஆனது.
‌வெப்பமாக்கல் அமைப்பு: ±0.5°C வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு துல்லியம் மற்றும் 850°C அதிகபட்ச இயக்க வெப்பநிலை கொண்ட அரை வட்ட மின்தடை சுருள்கள்.
முக்கிய அளவுருக்கள்

‌வாக்குவம்‌: ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் மாசுபாட்டைத் தடுக்க முழுவதும் ≤1×10⁻³ Pa.
மண்டல பயண வேகம்: 2–5 மிமீ/மணி (டிரைவ் ஷாஃப்ட் வழியாக ஒரு திசை சுழற்சி).
உருகிய மண்டலத்தின் முன்புறத்தில் வெப்பநிலை சாய்வு: 725±5°C, பின் விளிம்பில் <500°Cக்கு குளிர்ச்சியடைகிறது.
‌பாஸ்கள்: 10–15 சுழற்சிகள்; பிரிப்பு குணகங்கள் <0.1 (எ.கா., Cu, Pb) கொண்ட அசுத்தங்களுக்கு அகற்றும் திறன் >99.9%.
‌2. திசை படிகமயமாக்கல் செயல்முறை‌
உருகுதல் தயாரிப்பு

‌பொருள்: மண்டல சுத்திகரிப்பு மூலம் 5N டெல்லூரியம் சுத்திகரிக்கப்படுகிறது.
உருகும் நிலைமைகள்: உயர் அதிர்வெண் தூண்டல் வெப்பமாக்கலைப் பயன்படுத்தி 500–520°C வெப்பநிலையில் மந்த Ar வாயுவின் (≥99.999% தூய்மை) கீழ் உருகப்படுகிறது.
உருகு பாதுகாப்பு: ஆவியாதலை அடக்குவதற்கு உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் உறை; உருகிய குள ஆழம் 80–120 மிமீ பராமரிக்கப்படுகிறது.
படிகமாக்கல் கட்டுப்பாடு

வளர்ச்சி விகிதம்: 1–3 மிமீ/மணி நேரம், செங்குத்து வெப்பநிலை சாய்வு 30–50°C/செ.மீ.
குளிரூட்டும் அமைப்பு: கட்டாய அடிப்பகுதி குளிரூட்டலுக்கான நீர்-குளிரூட்டப்பட்ட செப்பு அடித்தளம்; மேலே கதிரியக்க குளிரூட்டல்.
தூய்மையற்ற பிரிப்பு: 3–5 மறு உருகும் சுழற்சிகளுக்குப் பிறகு தானிய எல்லைகளில் Fe, Ni மற்றும் பிற அசுத்தங்கள் செறிவூட்டப்பட்டு, செறிவுகளை ppb அளவிற்குக் குறைக்கின்றன.
‌3. தரக் கட்டுப்பாட்டு அளவீடுகள்‌
அளவுரு நிலையான மதிப்பு குறிப்பு
இறுதித் தூய்மை ≥99.99999% (7N)
மொத்த உலோக அசுத்தங்கள் ≤0.1 பிபிஎம்
ஆக்ஸிஜன் உள்ளடக்கம் ≤5 பிபிஎம்
படிக நோக்குநிலை விலகல் ≤2°
மின்தடை (300 K) 0.1–0.3 Ω·செ.மீ.
செயல்முறை நன்மைகள்
‌அளவிடுதல்: பல அடுக்கு வளைய மண்டல உருகும் படகுகள் வழக்கமான வடிவமைப்புகளுடன் ஒப்பிடும்போது தொகுதி திறனை 3–5× அதிகரிக்கின்றன.
செயல்திறன்: துல்லியமான வெற்றிடம் மற்றும் வெப்பக் கட்டுப்பாடு அதிக அசுத்தங்களை அகற்றும் விகிதங்களை செயல்படுத்துகிறது.
படிகத் தரம்: மிக மெதுவான வளர்ச்சி விகிதங்கள் (<3 மிமீ/மணி) குறைந்த இடப்பெயர்வு அடர்த்தி மற்றும் ஒற்றை-படிக ஒருமைப்பாட்டை உறுதி செய்கின்றன.
இந்த சுத்திகரிக்கப்பட்ட 7N டெல்லூரியம், அகச்சிவப்பு உணரிகள், CdTe மெல்லிய-படல சூரிய மின்கலங்கள் மற்றும் குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறுகள் உள்ளிட்ட மேம்பட்ட பயன்பாடுகளுக்கு மிகவும் முக்கியமானது.

குறிப்புகள்:
டெல்லூரியம் சுத்திகரிப்பு குறித்த சக மதிப்பாய்வு செய்யப்பட்ட ஆய்வுகளிலிருந்து சோதனைத் தரவைக் குறிக்கிறது.