7N теллур цэвэршүүлэх процесс нь "бүсийг цэвэршүүлэх" болон чиглэлтэй талстжуулалтын технологийг хослуулсан. Процессын гол дэлгэрэнгүй мэдээлэл ба параметрүүдийг доор харуулав.
1. Бүсийг цэвэршүүлэх үйл явц
Тоног төхөөрөмжийн дизайн
Олон давхаргат цагираг хэлбэрийн хайлах завь: Диаметр 300–500 мм, өндөр 50–80 мм, өндөр цэвэршилттэй кварц эсвэл бал чулуугаар хийсэн.
Халаалтын систем: Температурыг хянах нарийвчлал нь ±0.5 ° C, хамгийн их ажиллах температур нь 850 ° C байдаг хагас дугуй эсэргүүцэлтэй ороомог.
Үндсэн параметрүүд
Вакуум: ≤1×10⁻³ Па бүхэлд нь исэлдэж, бохирдохоос сэргийлнэ.
Бүсийн хөдөлгөөний хурд: 2–5 мм/цаг (хөтөгчийн босоо амаар нэг чиглэлтэй эргэлт).
Температурын градиент: хайлсан бүсийн урд хэсэгт 725±5°С, арын ирмэг дээр <500°С хүртэл хөргөнө.
Дамжуулах хугацаа: 10-15 мөчлөг; ялгах коэффициент <0.1 (жишээ нь, Cu, Pb) хольцын хувьд зайлуулах үр ашиг >99.9%.
2. Чиглэлийн талстжих үйл явц
Хайлмал бэлтгэх
Материал: 5N теллурыг бүсийн цэвэршүүлэх замаар цэвэршүүлсэн.
Хайрах нөхцөл: Өндөр давтамжийн индукцийн халаагуур ашиглан 500–520°C температурт инертийн Ar хийн (≥99.999% цэвэршилт) дор хайлуулна.
хайлалтыг хамгаалах: Дэгдэмхийллийг дарах өндөр цэвэршилттэй бал чулуун бүрхүүл; хайлсан усан сангийн гүнийг 80-120 мм-д хадгална.
Талстжилтын хяналт
Өсөлтийн хурд: 1-3 мм/ц, босоо температурын градиент 30-50°С/см.
Хөргөлтийн систем: Доодоос албадан хөргөх зориулалттай усан хөргөлттэй зэс суурь; дээд хэсэгт цацрагийн хөргөлт.
Бохирдлыг ялгах: Fe, Ni болон бусад хольцууд нь 3-5 дахин хайлуулах циклийн дараа үр тарианы хил дээр баяжуулж, концентрацийг ppb түвшинд хүртэл бууруулдаг.
3. Чанарын хяналтын хэмжүүрүүд
Параметрийн стандарт утгын лавлагаа
Эцсийн цэвэршилт ≥99.99999% (7N)
Нийт металлын хольц ≤0.1 ppm
Хүчилтөрөгчийн агууламж ≤5 ppm
Кристал чиглэлийн хазайлт ≤2°
Эсэргүүцэл (300 К) 0.1-0.3 Ом·см
Процессын давуу тал
Томжуулах боломжтой: Олон давхаргат цагираг хэлбэрийн хайлуулах завь нь ердийн загвартай харьцуулахад багцын багтаамжийг 3-5 дахин нэмэгдүүлдэг.
Үр ашигтай байдал: Нарийвчилсан вакуум болон дулааны хяналт нь бохирдлыг өндөр хэмжээгээр зайлуулах боломжийг олгодог.
Болорын чанар: Хэт удаан өсөлтийн хурд (<3 мм/цаг) нь мултрах нягтрал бага, нэг болор бүрэн бүтэн байдлыг хангадаг.
Энэхүү цэвэршүүлсэн 7N теллур нь хэт улаан туяаны мэдрэгч, CdTe нимгэн хальсан нарны зай, хагас дамжуулагч субстрат зэрэг дэвшилтэт хэрэглээнд чухал ач холбогдолтой юм.
Лавлагаа:
теллур цэвэршүүлэх талаар хийсэн судалгаануудын туршилтын өгөгдлийг заана.
Шуудангийн цаг: 2025-03-24