7N tellúrhreinsunarferlið sameinar svæðishreinsun og stefnukristöllunartækni. Upplýsingar um helstu ferli og færibreytur eru lýst hér að neðan:
1. Svæðishreinsunarferli
Hönnun búnaðar
Marglaga hringlaga bræðslubátar: Þvermál 300–500 mm, hæð 50–80 mm, úr háhreinu kvarsi eða grafíti.
Hitakerfi: Hálfhringlaga viðnámsspólur með nákvæmni hitastýringar upp á ±0,5°C og hámarks vinnsluhita 850°C.
Lykilfæribreytur
Tómarúm: ≤1×10⁻³ Pa í gegn til að koma í veg fyrir oxun og mengun.
Ferðahraði svæðis: 2–5 mm/klst. (einátta snúningur um drifskaft).
Hitastig: 725±5°C á framhlið bræddu svæðisins, kæling niður í <500°C á aftari brún.
Passar: 10–15 lotur; skilvirkni í fjarlægingu >99,9% fyrir óhreinindi með aðskilnaðarstuðla <0,1 (td Cu, Pb).
2. Stefna kristöllun ferli
Bræðsluundirbúningur
Efni: 5N tellúr hreinsað með svæðishreinsun.
Bræðsluskilyrði: Bráðið undir óvirku Ar-gasi (≥99,999% hreinleika) við 500–520°C með hátíðni örvunarhitun.
Bræðsluvörn: Háhreint grafíthlíf til að bæla rokgjörn; dýpt bráðnu laugarinnar haldið við 80–120 mm.
Kristöllunarstýring
Vaxtarhraði: 1–3 mm/klst. með lóðréttan hitastig 30–50°C/cm.
Kælikerfi: Vatnskældur kopargrunnur fyrir þvingaða botnkælingu; geislakæling efst.
Aðskilnaður óhreininda: Fe, Ni og önnur óhreinindi eru auðguð við kornmörk eftir 3–5 endurbræðslulotur, sem lækkar styrkinn niður í ppb gildi.
3. Gæðaeftirlitsmælingar
Parameter Standard Value Reference
Endanleg hreinleiki ≥99,99999% (7N)
Heildarmálmóhreinindi ≤0,1 ppm
Súrefnisinnihald ≤5 ppm
Frávik kristalstefnu ≤2°
Viðnám (300 K) 0,1–0,3 Ω·cm
Kostir vinnslu
Skalanleiki: Marglaga bræðslubátar með hringlaga svæði auka framleiðslugetu um 3–5× miðað við hefðbundna hönnun.
Skilvirkni: Nákvæm lofttæmi og hitastýring gera kleift að fjarlægja óhreinindi mikið.
Kristalgæði: Ofurhægur vaxtarhraði (<3 mm/klst.) tryggir lágan tilfærsluþéttleika og einkristalla heilleika.
Þetta fágaða 7N tellúr er mikilvægt fyrir háþróaða notkun, þar á meðal innrauða skynjara, CdTe þunnfilmu sólarsellur og hálfleiðara hvarfefni.
Tilvísanir:
tákna tilraunagögn úr ritrýndum rannsóknum á telúrhreinsun.
Pósttími: 24. mars 2025