La 7N teluria purigadprocezo kombinas zonan rafinadon kaj direktajn kristaligajn teknologiojn. Ŝlosilprocezaj detaloj kaj parametroj estas skizitaj malsupre:
1. Zona Rafina Procezo
Dezajno de Ekipaĵo
Multavolaj ringoformaj fandŝipoj: Diametro 300–500 mm, alteco 50–80 mm, faritaj el altpura kvarco aŭ grafito.
Hejtadsistemo: duonrondaj rezistaj bobenoj kun temperaturkontrola precizeco de ± 0,5 °C kaj maksimuma funkciada temperaturo de 850 °C.
Ŝlosilaj Parametroj
Vakuo: ≤1×10⁻³ Pa ĉie por malhelpi oksigenadon kaj poluadon.
Zona vojaĝrapideco: 2–5 mm/h (unudirekta rotacio per veturadŝakto).
Temperatura gradiento: 725±5 °C ĉe la fandita zonofronto, malvarmetiĝante al <500 °C ĉe la malantaŭa rando.
Pasoj: 10–15 cikloj; foriga efikeco >99.9% por malpuraĵoj kun apartigkoeficientoj <0.1 (ekz., Cu, Pb).
2. Direkta kristaliĝoprocezo
Preparado de Fandilo
Materialo: 5N telurio purigita per zona rafinado.
Fandkondiĉoj: Fandita sub inerta Ar-gaso (≥99.999% pureco) je 500–520 °C uzante altfrekvencan indukta hejtado.
Fandanta protekto: Altpura grafita kovrilo por subpremi volatiliĝon; fandita naĝejo profundo konservita ĉe 80-120 mm.
Kontrolo de kristaliĝo
Kreskorapideco: 1–3 mm/h kun vertikala temperaturgradiento de 30–50°C/cm.
Malvarmigsistemo: akvomalvarmigita kupra bazo por malvola malsupra malvarmigo; radiativa malvarmigo ĉe la supro.
Malpuraĵapartigo: Fe, Ni, kaj aliaj malpuraĵoj estas riĉigitaj ĉe grenlimoj post 3-5 refandaj cikloj, reduktante koncentriĝojn al ppb-niveloj.
3. Kvalitkontrolo-Metrikoj
Parametro Norma Valora Referenco
Fina pureco ≥99.99999% (7N)
Totalaj metalaj malpuraĵoj ≤0.1 ppm
Enhavo de oksigeno ≤5 ppm
Kristala orientiĝo devio ≤2°
Rezisteco (300 K) 0,1–0,3 Ω·cm
Procezaj Avantaĝoj
Skalebleco: Plurtavolaj ringoformaj fandantaj boatoj pliigas batkapaciton je 3-5× kompare kun konvenciaj dezajnoj.
Efikeco: Preciza vakuo kaj termika kontrolo ebligas altajn forigon de malpuraĵoj.
Kristala kvalito: Ultra-malrapidaj kreskorapidecoj (<3 mm/h) certigas malaltan dislokigan densecon kaj unu-kristalan integrecon.
Tiu rafinita 7N telurio estas kritika por progresintaj aplikoj, inkluzive de infraruĝaj detektiloj, CdTe-maldikfilmaj sunĉeloj, kaj semikonduktaĵsubstratoj.
Referencoj:
indikas eksperimentajn datenojn de kolegaro-reviziitaj studoj pri teluriopurigo.
Afiŝtempo: Mar-24-2025