1. Прарыў у падрыхтоўцы матэрыялаў высокай чысціні
Матэрыялы на аснове крэмнія: чысціня монакрышталяў крэмнію перасягнула 13N (99,9999999999%) з выкарыстаннем метаду плаваючай зоны (FZ), значна палепшыўшы прадукцыйнасць магутных паўправадніковых прыбораў (напрыклад, IGBT) і ўдасканаленых мікрасхем45. Гэтая тэхналогія памяншае забруджванне кіслародам з дапамогай працэсу без тыгля і аб'ядноўвае сілан CVD і мадыфікаваныя метады Siemens для дасягнення эфектыўнай вытворчасці полікрэмнію зоннага плаўлення47.
Германіевыя матэрыялы: аптымізаваная зонная ачыстка плаўленнем павысіла чысціню германію да 13N з палепшанымі каэфіцыентамі размеркавання прымешак, што дазваляе выкарыстоўваць яго ў інфрачырвонай оптыцы і дэтэктарах выпраменьвання23. Аднак узаемадзеянне паміж расплаўленым германіем і матэрыяламі абсталявання пры высокіх тэмпературах застаецца крытычнай праблемай23.
2. Інавацыі ў працэсах і абсталяванні
Дынамічны кантроль параметраў: карэкціроўка хуткасці руху зоны расплаву, тэмпературных градыентаў і асяроддзя ахоўнага газу ў спалучэнні з маніторынгам у рэжыме рэальнага часу і аўтаматызаванымі сістэмамі зваротнай сувязі—павысіла стабільнасць працэсу і паўтаральнасць, мінімізуючы ўзаемадзеянне паміж германіем/крэмніем і абсталяваннем27.
Вытворчасць полікрэмнія: Новыя маштабуемыя метады атрымання полікремнію зоннай плаўкі вырашаюць праблемы кантролю ўтрымання кіслароду ў традыцыйных працэсах, зніжаючы спажыванне энергіі і павялічваючы ўраджайнасць47.
3. Інтэграцыя тэхналогій і міждысцыплінарныя прыкладанні
Гібрыдызацыя крышталізацыі расплаву: метады крышталізацыі расплаву з нізкай энергіяй інтэгруюцца для аптымізацыі падзелу і ачысткі арганічных злучэнняў, пашырэння прымянення зоннага плаўлення ў фармацэўтычных прамежкавых прадуктах і хімікатах тонкага арганічнага сінтэзу6.
Паўправаднікі трэцяга пакалення: зоннае плаўленне цяпер прымяняецца да шыроказонных матэрыялаў, такіх як карбід крэмнію (SiC) і нітрыд галію (GaN), падтрымліваючы высокачашчынныя і высокатэмпературныя прылады. Напрыклад, вадкасная тэхналогія монакрышталічнай печы забяспечвае стабільны рост крышталя SiC з дапамогай дакладнага кантролю тэмпературы15.
4. Разнастайныя сцэнарыі прымянення
Фотаэлектрыка: полікрыліцый зоннага плаўлення выкарыстоўваецца ў высокаэфектыўных сонечных батарэях, дасягаючы эфектыўнасці фотаэлектрычнага пераўтварэння больш за 26 % і спрыяючы прагрэсу ў галіне аднаўляльных крыніц энергіі4.
Інфрачырвоныя і дэтэктарныя тэхналогіі: Германій звышвысокай чысціні дазваляе выкарыстоўваць мініяцюрныя, высокапрадукцыйныя прылады інфрачырвонага адлюстравання і начнога бачання для ваенных, ахоўных і грамадзянскіх рынкаў23.
5. Праблемы і будучыя напрамкі
Абмежаванні па выдаленні прымешак: сучасныя метады змагаюцца з выдаленнем прымешак лёгкіх элементаў (напрыклад, бору, фосфару), што патрабуе новых працэсаў легіравання або тэхналогій дынамічнага кантролю зоны расплаву25.
Даўгавечнасць абсталявання і энергаэфектыўнасць: даследаванні сканцэнтраваны на распрацоўцы ўстойлівых да высокіх тэмператур і карозіі матэрыялаў для тыгля і сістэм радыёчастотнага нагрэву для зніжэння спажывання энергіі і падаўжэння тэрміну службы абсталявання. Тэхналогія вакуумна-дугавога пераплаўлення (VAR) абяцае ачыстку металу47.
Тэхналогія зоннага плаўлення прасоўваецца да большай чысціні, меншага кошту і больш шырокага прымянення, умацоўваючы сваю ролю краевугольнага каменя ў паўправадніках, аднаўляльных крыніцах энергіі і оптаэлектроніцы
Час публікацыі: 26 сакавіка 2025 г